?氣浮平臺有氣浮直線平臺與氣?。ㄐD(zhuǎn)）轉(zhuǎn)臺兩類。氣浮平臺的核心原理是由空氣軸承結(jié)合電控元件構(gòu)成的精密位移平臺，基于空氣軸承的原理，讓負(fù)載板浮在氣浮導(dǎo)軌或氣浮軸承上，實現(xiàn)無摩擦、無振動的平滑運動。

??氣浮平臺的氣浮直線導(dǎo)軌常見的形式有：

??1、重力平衡式氣浮導(dǎo)軌；

??2、閉式氣浮導(dǎo)軌；

??3、永磁預(yù)載式氣浮導(dǎo)軌；

??4、真空吸附式氣浮導(dǎo)軌。

??常見的氣浮孔結(jié)構(gòu)為：

??1、小孔節(jié)流結(jié)構(gòu)；

??2、多孔質(zhì)結(jié)構(gòu)。

??氣浮平臺的高直線度和平面度依賴于氣浮導(dǎo)軌，材質(zhì)分為鋁合金、大理石及碳化硅陶瓷等，研究其高壓氣膜的壓力分布、氣源壓力、節(jié)流器、均壓槽深度等，找到了氣膜剛度時的參數(shù)區(qū)間有著好的性能精度，行程300mm直線度和平面度的誤差在1μm以內(nèi)，氣浮平臺的承載能力也非常的好，在市場上已經(jīng)逐漸得到大家的認(rèn)可。

??氣浮運動臺作為精密設(shè)備，分為直線運動和旋轉(zhuǎn)運動，在使用時注意事項：

??1、機械結(jié)構(gòu)部分：

??1）直線軸或旋轉(zhuǎn)軸需要安裝到一個平面度5μm的平臺基座上。

??2）氣浮臺的供氣氣源要是潔凈的，無水無油固體顆粒小于0.2μm，壓力露點-20℃，三級過濾器定期排水（因地域濕度不同，根據(jù)實際情況檢查，周/月/季檢查），三級過濾器要豎直安裝，定期檢查是否有油水的情況，如有，打開過濾器底部開關(guān)排出。

??3）直線軸和轉(zhuǎn)臺負(fù)載臺面在3μm以內(nèi)，先用無水乙醇擦拭干凈在安裝工件。

??4）安裝的工件平面度3μm以內(nèi)。

??5）安裝螺釘時，4角固定時要對角線上螺釘，環(huán)形固定時要也對角安裝，先輕微上力，再逐步加力，參考螺釘緊固力矩標(biāo)準(zhǔn)。

??6）轉(zhuǎn)臺先通氣再通電，氣壓在0.5~0.6Mpa，關(guān)機時先斷電再斷氣。

??7）直線軸與轉(zhuǎn)軸安裝，先用無水乙醇擦干凈，在安裝螺釘，轉(zhuǎn)接板平面度要在3μm以內(nèi)，安裝方法參考1.5。

??2、電控部分：

??1）轉(zhuǎn)臺開機的時候先通氣再通電，關(guān)機時先斷電再斷氣。

??2）氣浮轉(zhuǎn)臺上電前，先判斷一下氣壓是否合適，用手輕輕推動氣浮軸，軸能很平滑的運動并且阻力很小，那么氣浮軸可以上電并上使能使用了；如果推不動或者阻力很大，請勿要使用大的力氣強行去推，此時應(yīng)該去尋找原因或與廠家聯(lián)系，不可以上電使用。

??3）參考使用說明書，內(nèi)含注意事項。