應用特點：

u 采用“直線電機+交叉導軌”的方式，結(jié)合光柵尺反饋，作全閉環(huán)控制的多軸亞微米級平臺；

u 模塊化的結(jié)構(gòu)設計，且整體模塊可以任意拆解；

u 更好的速度穩(wěn)定性；

u 替代Stewart平臺，性價比更高；

  提供全套控制系統(tǒng)，控制算法更精準。