尺寸圖：

 u 產(chǎn)品特性：

? 堅固的機械結(jié)構(gòu)；

? 非接觸直接驅(qū)動系統(tǒng)，可實現(xiàn)高動態(tài)響應(yīng)和高可靠性

? 用于超精密運動的直接驅(qū)動直線電機，無鐵芯電機提供高推力，零齒槽效應(yīng)，可實現(xiàn)超平滑的速度和位置控制；

? 行程從100mm到2000mm 不等，可根據(jù)實際需求定制；

? 增量式和絕對式編碼器作為標(biāo)準(zhǔn)選項提供，可實現(xiàn)低至5nm 的最小增量運動和亞微米級的可重復(fù)性；